TA-280E 勻膠處理機(jī)
敞口容器,每次1-10ml 液體自動(dòng)供料,用于膜的后處理工藝。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:(兼容2種功能)
1,勻膠機(jī)。與TA-280相同
2,膠膜的后處理工藝。 敞口容器,每次1-10ml 液體自動(dòng)供料 。
三.技術(shù)參數(shù) 1.旋涂速度:300~10000 rpm 2.每段時(shí)間:1~99999 s 3.涂膜尺寸:晶圓尺寸:直徑5--250mm; 方片:最小5X5mm 最大180X180